۲-نیاز به کنترل کننده‌ی جداگانه
۳- نسبت تراکم کم برای گازهای سبک
(( اینجا فقط تکه ای از متن درج شده است. برای خرید متن کامل فایل پایان نامه با فرمت ورد می توانید به سایت feko.ir مراجعه نمایید و کلمه کلیدی مورد نظرتان را جستجو نمایید. ))
۴- صدمه پذیری زیاد
۵- دشواری در نگه‌داری
۶- نیاز به یک پمپ ثابت چرخشی برای ایجاد خلأ اولیه
پمپ انجمادی
پمپ‌های انجمادی هیچ‌گونه آلودگی ندارند و با منجمد کردن، گاز‌ها را پمپ می‌کنند. هیدروژن و نئون بوسیله‌ی جذب پمپ می‌شوند. گاز‌ها در پمپ به تله می‌افتند و وقتی که پمپ گرم می شود می‌توانند آزاد شوند. بعضی از گازهای ذخیره شده ممکن است خصوصیات خیلی نامطلوبی داشته باشند. بازده پمپ به موازات چگالش گاز‌ها کاهش می‌یابد. به جز هیدروژن، هلیم و نئون در مورد همه‌ی گاز‌ها خوب عمل می‌کند. زمان سرد شدن می‌تواند زیاد باشد. این پمپ می‌تواند در هر جهتی نسبت به مخزن نصب شوند. در جدول ۱‑۵ مشخصه های سیستم‌های شامل چنین پمپی آورده شده‌است.
جدول ۱‑۵: مشخصات سیستم‌های شامل پمپ انجمادی
نقاط قوت
نقاط ضعف
سرعت بالا برای بخار آب
بار خروجی بالا
خیلی تمیز
هزینه‌ی کارکردی کم
نیازمندی به پمپ مکانیکی فقط برای خلأ اولیه‌ی کم
محدوده‌ی سرعت پمپی ۴۰۰ تا۱۸۰۰۰ لیتر بر ثانیه
۱- نیاز به بازیابی و تعویض
۲- نیاز به بازدید مرتب
۳- هزینه‌ی اولیه‌ی بالا
۴- ظرفیت کم برای هیدروژن و هلیم
پمپ اسپاتر یونی
اساس کارکرد این پمپ‌ها بر پایه‌ی جذب گاز استوار می‌باشد که در آن مواد موجود در کاتد (معمولاً تیتانیوم)، یا تبخیر می‌شود و یا به وسیله بمباران یون‌های با سرعت خیلی زیاد، اسپاتر می‌گردند. گازهای فعال با تشکیل ترکیب شیمیایی با تیتانیوم اسپاتر شده، پمپ می‌شوند. گازهای داخل شده به وسیله‌ی یونیزاسیون و جذب در کاتد، و گازهای سبک به وسیله‌ی نفوذ در کاتد از سیستم خارج می‌شوند. پمپ‌های اسپاتر یونی برای سیستم‌های با سیکل سریع و سرعت بالا به کار نمی‌روند، اما در محدوده‌ی خلأ فوق‌العاده بالا (UHV) نقش مهمی را ایفا می‌کنند. این پمپ‌ها اصلاً مواد هیدروکربنی ندارند، ارتعاشی ایجاد نمی‌کنند و نیاز به شیر خلأ بالا هم ندارند. درجدول ۱‑۶ مشخصه های سیستم‌های شامل این پمپ آورده شده‌است.
جدول ۱‑۶: مشخصات سیستم‌های دارای پمپ اسپاتر یونی
نقاط قوت
نقاط ضعف
۱- فوق العاده تمیز
۲-هزینه‌ی کارکردی کم
۳- نیازمندی به پمپ اولیه فقط برای خلأ کم
۴- انتخابی بودن جهت نصب
۵- تنها نیازمند به اتصال با منبع جریان الکتریسته
۱- هزینه اولیه بالا
۲-سرعت و بار خروجی کم
۳- حضور میدان مغناطیسی
۴- سرعت متفاوت برای گازهای مختلف
